LW-9300TIC 熱傳風(fēng)洞
特點(diǎn)
根據(jù)SEMI 38-87規(guī)范設(shè)計(jì)制造
規(guī)格
1. 開回路下吹式結(jié)構(gòu)
2. 試驗(yàn)段:0.3 (W) × 0.3 (H) × 0.7 (L) m
3. 流場(chǎng)品質(zhì):
3.1. 在未加熱狀態(tài),風(fēng)速達(dá)2 m/sec以上,于中心點(diǎn)起算80%的截面積
3.2. 均勻度 >98%
3.3. 擾流強(qiáng)度<1%
4. 風(fēng)速:1 ~ 10 m/sec
5. 總體尺寸:0.75 (W) × 4.3 (L) × 1.8 (H) m (Ref.)
6. 使用電力:AC220V, 單相, 10 Amp

試驗(yàn)段